一、干涉仪分类：
按光学原理，也可以将所有z干涉仪分为如下两类:
(1)具有参考波面的干涉仪。
这种干涉仪，系统本身须建立一个参考波面或称标准波面。参考波面可能是平面、球面或非球面。根据被测波面与参考波面叠加时产生的干涉条纹形状或条纹变化数，研究被测波面的波差或程差情况。
这种干涉仪，干涉条纹曲直，直接表示被测波面的等相位线。换句话说，干涉条纹是波面相位常数的轨迹。
(2)没有参考波面的干涉仪，即波前剪切干涉仪。
这种干涉仪，不是被测波面与参考波面比较。
二、菲索干涉仪基本原理：
三、ZYGO干涉仪简介：
菲索型干涉仪，与其他类型的干涉仪如泰曼格林干涉仪和马赫曾德尔干涉仪相比，菲索干涉仪具有光学元件少、精"高、使用方便等优点。光源是氦氖激光器（632.8nm），激光通过扩束镜和准直物镜，得到一束准直激光。在干涉仪前安装一个透射元件（平面镜或球面镜）将部分激光反射回干涉仪，从而产生一个参考波前。其余激光通过透射元件到达被测元件，称为测量波前。在进行表面质量测试时，测量波前从被测部件的表面反射回干涉仪；在进行透射波前测试时，测量波前通过被测光学元件，从通过被测光学元件的参考面再次反射回干涉仪。
ZYGO干涉仪基本光路结构
四、ZYGO干涉仪光学干涉原理：
在表面质量测试和透射波前测试中，返回波前与干涉仪内的参考波前重新组合，两个波前相互干涉。两个波前之间的相位差产生干涉条纹，一般认为干涉图p可以直观的判读表面面型。干涉图形通过摄像机转换成电信号，使软件能够采集和分析。在进行透射波前或表面质量测试时，测量波前两次受到光学元件的影响，因此称为双通干涉术。在干涉图中，被测部件的缺陷似乎是实际缺陷的两倍。ZYGO软件通过调整比例因子来弥补这一缺陷，因此p测量结果的分辨率是单通干涉仪测量结果的两倍。
干涉仪检测球面和光学系统局部光路
平面镜主要用来产生参考平面波，球面镜主要用来产生参考球面波。
平行光经过标准镜头(其最后一面为参考面)，;为两束，一 测试光，一束为参考光。参考光返回，测试光经过测试镜返回，两者进行干涉。
简述测试某一R面的波前差的光学原理：（见上图a）
光路1：平行光进入准直镜后，形成焦点；
光路2：准直镜的前面为标准的参考镜，为一参考波前光学系统，带<一定反射率。此球面的球心与光路1的整只准直镜的焦点重合；
光路3：即为被测凹球面，类似于一个被测光学系统。
光路干涉过程：平行光进入准直镜后，形成焦点，此时的焦点即为参考镜的物面，也是被测凹面的物面，从而参考镜与被测面进行会聚到准直镜焦点处，一并返回光学系统，在像面进行干涉。
四、测试透镜系统
对透射波前质量进行测试的任何组件都将被称为透镜系统，无论它是由单个球形元件还是一组元件组成。
为镜头系统创建测试设置需要了解其设计和预期用途。选择合适的传输元件和参考面，对准透镜系统、干涉仪和参考球的光轴，是测试成功的关键。做这些事情的方法几乎完全依赖于正在测试的镜头系统，因此需要根据测试的镜头系统的具体应用来设置。
下图显示了一些可能的测试设置图。
作者QQ及微信：49922779 
该站用来记录个人生活的笔记，内容部分资料来源于网络，如有侵权，请联系删除。（QQ：49922779 微信：49922779 阿里旺旺： zhengshili
