摘要
1绪论
1.1课题的来源及意义
1.2国内外研宄现状与发展趋势
1.3本文所做的工作
2将微分干涉应用于全内反射亚表面损伤检测的可行性
2.1显微镜的发展历史
2.2全内反射检测亚表面损伤基本原理
2.3入射光状态对相对光强的影响
2.4微分干涉显微术的基本原理和系统构成
2.5DIC显微术用于全内反射检测亚表面损伤的可行和先进性
2.6结合DIC后全内反射的光学系统原理图和说明
2.7本章小节
3微分干涉显微镜的详细设计
3.1系统主要技术指标的设定
3.2关键部件Normaski棱镜的设计
3.2.1棱镜使用材料的选择
3.2.2石英材料的折射率
3.2.3Normaski棱镜光路追迹计算
3.2.4使用Matlab软件模拟
3.3Nomarski棱镜公差的讨论
4DIC显微术定量测量相位
4.1细裂纹模型理论推导
4.2待测件中〇光和e光的光程差的产生原因
4.3定量测量相位的几种方法
4.4光源的设计
5总结与展望
通过网盘分享的文件:_全内反射亚表面损伤检测中加入DIC显微术的研究和应用.caj
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