表面精度(λ/4、λ/8、λ/10、λ/20)——Irregularity(P-V)@632.8nm——表面平整度 (P-V)

平面镜的表面精度包括λ/4、λ/8、λ/10或λ/20。

Irregularity (P-V) @ 632.8nm:λ/4

表面平整度 (P-V):λ/4

SURFACE FLATNESS: λ/10 AT 633 nm OVER CLEAR APERTURE

表面精度<2λ@632.8nm 是什么意思

面型精度采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征。因为使用可以测量波面的干涉仪来测量，所以也称为反射面精度。面型精度的干涉条纹数的单位是[λ ]。λ是干涉仪所用的氦氖激光器的波长632.8nm。

表征面型精度有两个参数:PV和RMS值。

PV值是 Peak to Valley (峰值与谷值的差值 )，RMS值是 Root Mean Square ( 均方根值 )，根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为像平面这类的简单形状，大多使用PV值来表示。

例如:面型精度的PV值是1/4λ时，表示理想平面的最大偏差值是158.2nm。

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