N、△1N、△2N、A(SAG)、B(IRR)、C(RSI)、RMSt、RMSi、RMSa

光圈数N：

被检光学表面的曲率半径对于参考光学表面曲率半径的偏差称半径偏差，此偏差所对应的光圈数用N表示。

象散偏差△1N：

被检光学表面与参考光学表面在第二个相互垂直方向上产生的光圈数不等所对应的偏差，此偏差所对应的光圈数有△1N表示。

局部偏差△2N：

被检光学表面与参考光学表面在任一方向上产生的干涉条纹的局部不规则度称局部偏差，此偏差所对应的光圈数用△2N表示。

A为弧矢差：

是被检光学表面的曲率半径与参考表面曲率半径之差。此指标对应Zygo设备测试中的SAG。

B为不规则度：

是标称球面(检测面)偏离球面的量度。此指标对应Zygo设备测试中的IRR。

C为旋转对称不规则度：

表面是旋转对称的，但却不是想要的形状，即存在旋转对称不规则度。此指标对应Zygo设备测试中的RSI。

RMSt均方根总偏差：

为被测光学表面与标称理论球面之间的均方根偏差。

RMSa均方根不对称性：

为被测光学表面与拟合非球面之间的均方根偏差。

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