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自准直仪

自动准直仪原理与应用

时间:2025/6/18 23:01:30   作者:Leslie   来源:正势利   阅读:49   评论:0
内容摘要:说起准直仪,其实之前也用过。但是,它的原理是什么?在机械领域有哪些典型的应用?这就是今天我要说的。准直仪,顾名思义,就是看目标垂不垂直,和谁垂直?和准直仪的光轴垂直。所以它是校准,或者测量角度的仪器,原理是什么呢?看图说话。自动准直仪的原理在准直仪内部,光源Illumination(一般为LED或者激光)发出的光,照射...

说起准直仪,其实之前也用过。

但是,它的原理是什么?在机械领域有哪些典型的应用?

这就是今天我要说的。

准直仪,顾名思义,就是看目标垂不垂直,和谁垂直?和准直仪的光轴垂直。

所以它是校准,或者测量角度的仪器,原理是什么呢?

看图说话。自动准直仪原理与应用

自动准直仪原理与应用

自动准直仪的原理

在准直仪内部,光源Illumination(一般为LED或者激光)发出的光,照射到目标刻线Object Reticle上,而后到达分光镜Beam Splitter,并被反射到物镜Objective Lens上,然后从准直仪射出,打在反射镜上。

Beam Splitter,其实严格来说,应该翻译成分束器,不过我觉得分光镜更直观,所以本文就用这个词。

如果反射镜和光轴垂直(如图中竖直红色线),那么刻线被反射回去,按照红线路径,通过物镜后,穿过分光镜,到达成像平面Image Plane的原点。

如果反射镜倾斜一个角度α,那么刻线将按蓝色路径反射回去,最终不会落在像平面的原点,而会落在距离原点为d的位置。

需要注意的是,倾斜镜子反射回的光,与原来光轴夹角不是α了,而是变成了2α,为什么呢?

看一个放大图就清楚了。

自动准直仪原理与应用

根据几何关系可知Tan2α=d/f,对于小角度偏转,数学上有2α=d/f,即α=d/2f。

所以,可以根据像平面上的十字刻线移动量,来测量镜子的偏转角度。

当然,实际的自动准直仪(Autocollimator),像平面上是成像传感器,可以探测返回刻线的偏移量。

而且镜子放置在待测物件上,一般返回刻线的偏移,是X,Y方向同时偏移,所以d=√(X^2+Y^2)。

如果要用于测量或者校准,可以先把准直仪放在可调整平台,调整初始位置,使得返回刻线和零位重合,再移动镜子测量其角度变化,进而反应出待测量。

如何用准直仪测量直线度?

把准直仪固定,反光镜放置在需要检测的表面上,沿着测量方向上,每次移动反光镜相同的距离,例如50mm,在准直仪上读出刻线的变化量,依次测量出每一段的高低变化,也就得出直线度。

如何用准直仪测量导轨的平行度?

测量方法:准直仪安装在三角架或者稳定平台上,用90度转光镜把准直仪光线转到滑块运动方向,目的是转变准直仪刻线投射方向,并使得测量第二个导轨时,准直仪不用动,也就是作为测量两个导轨运行平行度的统一基准。

然后把反射镜安装在滑块上,移动滑块来测量导轨1的直线度,用同样的方法,把转光镜和反射镜挪动,再测量导轨2的直线度,测量完成后,可以计算两个导轨的平行度。

如何用准直仪测量平面度?

沿多个方向测量出直线度,再计算出平面度。测量的方向构成一个口里有米的图案,如下。最后再做数据处理,完成平面度的测量。

如何用准直仪测量/校准旋转平台的精度?

多边形基准镜,用于测量或者校准旋转平台的精度。

用得多的是8,12,16边形镜,因为多边形镜也不准,所以通常会有一张校准表,表示实际的角度。感兴趣的可以去了解一下多边形镜的校准方法。

接下来,如何测量旋转平台的精度?

把镜子安装在旋转平台上,用镜子的中心孔定位,然后旋转平台,使镜子的某一面对准准直仪,使反射的十字光标对准准直仪原点,这时,初始角度就设定好了,把旋转平台的编码器读数清零,接下来就可以开始测量镜子角度误差了。

方法是,旋转平台到下一面镜子的名义角度,比如对于8面镜,第一面对准后,现在需要旋转360/8=45度,通过转动平台的编码器读取到45度时,停止旋转,然后在准直仪上读取光标的偏移量,用于计算镜子角度的偏差。依次转动,用同样的方法测量其他的面,这样就测量了旋转平台的误差。

还有一种测量方法,是转动到某一个面后,使得准直仪中的读数是零,这时候编码器的读数角度和名义角度的差就是误差。



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