电子显微镜是以电子束代替可见光束,电子束通过特殊的光学系统,即电子光学系统成像,可获得极高的分辨率。假定电子显微镜的数值孔径为0.02,电子束的波长为0.1nm,求该电子显微镜可分辨的两物点最小间隔。
电子显微镜同光学显微镜一样,也以物平面上刚能分辨开的两物体间的最短距离σ表示电子显微镜物镜的分辨率:
σ=0.61λ/NA
由题意,
σ=0.61λ/NA=0.61x0.1/0.02=3.05nm
即,该电子显微镜在物平面上能分辨的两物点最小间隔是3.05nm。
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