ZYGO干涉仪:显微物镜系统波像差测量.mp4

一、光路选择

光路I能够最大程度地利用光源的亮度以及CCD的像素，并且调整平面参考反射镜要比球面参考反射镜简单得多，因此选择光路进行测试。

二、F数匹配

为使入射光线充满入瞳，并且最大程度地利用CCD的像素，所选用的球面参考镜F数必须小于并尽量接近被测物镜的F数。

三、调试步骤

1、借助pinhole，调整五维调整架，将物镜的出射光调至准直；

2、调整两维调整架，直至干涉条纹出现；

3、调整五维调整架，利用出射光的准直性找到正确的干涉条纹并展开到零。

四、视频下载

通过百度网盘分享的文件：干涉仪操作.mp4

链接：https://pan.baidu.com/s/1VT7Di691Bo1CrrNNs45tNQ

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