镀膜在光学成像、光学系统、光学元件等领域应用广泛。镀膜可使光学系统成像更加清晰,成像色彩更加逼真;在激光领域,镀膜在反射、透射光学元件中必不可少。光学镀膜通常包括增透膜(AR)、增反膜(HR)、分色膜等。其中反射膜分为介质反射膜和金属反射膜。
一、镀膜分类:
镀膜分类 | 介质膜 | 增透膜 | 单波长 |
双波长 | |||
宽带 | |||
增反膜 | AOI=45度 | ||
AOI=0度 | |||
其他角度 | |||
分色膜 | 短波通 | ||
长波通 | |||
部分反射 | |||
部分反射 | |||
滤光膜 | 薄膜干涉型 | ||
偏振膜 | |||
金属膜 | 金膜 | ||
银膜 | |||
铝膜 |
1、利用菲涅尔原理、干涉原理制成;
2、介质膜反射率可以做的很高,最高反射率接近100%;
3、反射带宽窄,反射区对波长、入射角、介质折射率较为敏感。
三、金属反射膜特点:
1、反射带宽宽,反射特征曲线平坦,反射区对波长、入射角等不敏感;
2、对偏振态的影响难以量化分析。抗损伤阈值低,反射率不如介质膜高;
3、相对于介质膜制成成本低。
关于增透、增反膜原理,总存在一些模糊的认知,比如大家常用能量守恒定律去解释,通常表述为:增透和增反是利用镜片介质膜上、下表面反射光干涉相消(根据能量守恒推断透射光能量增加)或干涉相长(推断反射光能量增加)实现的。事实上这种说法是有问题的,可以这样理解,对增透膜而言,当入射光入射至介质上表面时,上表面反射光能量就是确定的,透射光能量也是确定的,当入射光入射至介质下表面时,下表面仍会反射部分能量,这样看来增透膜并没有起到增透的效果,反而衰减了透射光能量,更达不到增透的目的,显然这种解释是错误的。同样上述关于能量守恒的表述也有误,光是电磁波,两列相向传播的电磁波,在它们的电场完全抵消的同时,磁场却在垂直方向上增强,也即电场转化为了磁场,而总的电磁场能量却是守恒的。
图1 电磁波传输示意图
事实上关于镀膜原理要从菲涅尔定理出发,因为菲涅尔定理全面而定量的描述了光在介质分界面上的传输情况,下方菲涅尔定理展示了光场s(垂直于入射面)、p(平行于入射面)偏振的透射率和反射率:
图2 菲涅尔折反射示意图
从上式可以推算,在入射角给定的情况下,增透或增反其实就是要寻找合适的折射角i2,折射角是镀膜介质折射率的函数,而介质折射率是和波长相关的。所以在给定波长和入射角的情况下,实现特定波长的增透或增反也就十分明了了,困难的只是工艺流程的实现。
下以AOI等于45°角为例,分别绘制s、p光的反射率和透射率曲线,横轴表示折射角(弧度),纵轴表示反射率或透射率(百分比):
图3 反射、透射率曲线
从上述曲线我们可以获知,当入射光线以45°角入射时,s、p光的反射率与折射角i2成反比关系,折射角越小(折射率越大),s、p光的反射率也就越高,而且s光的反射率要高于p光。同时s、p光的透射率与折射角i2成正比关系,折射角越大(折射率越小),s、p光的透射率也就越高,而且s光的透射率要高于p光。
有了上述的理论,我们就可以通过控制介质薄膜的折射率,轻松实现高百分比光能量的反射和透射。对增透膜而言,因为介质薄膜上、下表面总会反射小部分光能量,这小部分的光对增透膜而言就是杂散光,为了消除杂散光,我们可以通过合理设计增透膜的厚度,使得介质薄膜上、下表面反射光干涉相消。以一般入射角度为例(非垂直入射和掠入射),假定增透膜厚度为 λ/4( λ为在介质中的波长),此时上、下表面的反射光将会产生π的相位延时,这样上、下表面反射光就会产生干涉现象,表现为反射光的削弱。若要进一步消除反射光,可尝试镀多层膜。最简单的单层膜只能对设计波长起到增透、增反效果,偏离设计波长时,相应的透射率和反射率会迅速降低。
图4 薄膜干涉示意图
当以掠入射和垂直入射时(n2>n1>n0),还要考虑半波损失。由于存在半波损失,上下介质表面均会产生π的相位延时,从而膜的厚度仅仅只需满足两反射光的光程差为半个波长即可。类似的,增反膜也可以用上述增透理论进行解释。除此之外,双波长增透、双波长增反、分光膜相对而言会更复杂,但原理相同,多的只是设计方面的复杂计算而已。
图5 镜片膜层
同时,在可见光波段(380-780nm),从镜片颜色我们就可以对膜层进行简单的判断。通常镜片呈现的颜色是白光在镜片膜层上反射的颜色,看到的颜色表明膜层对这一波段有增反效果,在白光下呈无色透明的镜片膜层,通常对可见光波段透射效果较好。