光学零件的面形偏差——rms值质量指标评判示例

PV值通常被用于描述系统的光学质量。

rms值是反映整个被测波前（或光学表面）范围内与最佳匹配的参考波前的光程差平方和的均方值，是全表面上平均误差的表征，而不是由一两点的PV值判定被测整个光学表面的优劣。

如，一个400mmx400mm的良好光学表面，其中仅有一个约1mmx1mm的深凹坑，由此PV值可能很大，但其面积仅占整个光学表面的0.0006%，其影响几乎可被忽略，它仍可被判定为好的光学表面。因为其rms值仍然很小。

又如，光学表面上的不洁净点、划痕（在缺陷要求之内）或干涉检验时的被测光学表面的边缘效应，都将大大地影响PV值，但其本身质量却有可能是一个好的表面，故用rms值作为质量评价指标避免了这种失误。

通常，rms值的变化范围约为PV值的1/5左右。这个比值主要取决于波前（或表面）的“相关性”，这一相关性是指波前（或表面）内凸起数量的倒数。

GB∕T 2831-2009 光学零件的面形偏差

https://www.doc88.com/p-9981742637823.html

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