七种常用的分辨率测试靶

     光学成像系统的分辨本领指该系统能否分开两个靠近的点或物体细节的能力，通常以每毫米可以识别的线对数（lp/mm）来表示光学成像系统分辨率的大小。线对由一条黑线和一条白线组成，光学成像系统能分辨的每毫米线对数越多，分辨能力越好，分辨率越大。

光学成像系统最大分辨率示意图。

     上图为光学成像系统最大分辨率示意图，上边线对的线宽和线距较小，成像系统无法分辨；下边线对的线宽和线距有所增加，成像系统正好分辨，该线对对应的每毫米线对数即为成像系统的最大分辨率。

     针对不同的场景，有正/负测试靶可选。正分辨率测试靶在基底上镀铬图案，适用于前照和一般应用；负分辨率测试靶在基底上镀铬使图案部分透光，适用于背照和高亮照明。

     常见的测试靶图案有USAF 1951、NBS 1952、NBS 1963A、线栅、西门子星（扇形图）以及组合图案（同心圆和十字线网格靶和分辨率、畸变组合测试靶）。它们具有不同的特点，分别适用不同的应用。

一、USAF 1951分辨率测试靶

USAF 1951分辨率测试靶靶面

在钠钙玻璃上镀低反射铬膜制作而成，膜层厚度0.12 μm，光密度≥3@430 nm

提供正/负测试靶

分辨率：0.25 ~ 228 lp/mm

图案：包含6组（+2到+7）图案或10组（-2到+7）图案，每组含有三条水平线和三条竖直线，有效降低了伪分辨率的发生概率

1个或9个USAF 1951图样可选，图样更多，更易对准，且支持同时测量视场中多点的分辨率

尺寸：直径25.4 mm或76.2×76.2 mm

厚度：2 mm

表面光洁度：40/20

线缝公差：±0.5 μm

表面平整度：≤15 μm

USAF 1951分辨率测试靶实物图

二、NBS 1952分辨率测试靶

NBS 1952分辨率测试靶靶面

在钠钙玻璃上镀低反射铬膜制作而成，膜层厚度0.12 μm，光密度≥3@430 nm

提供正/负测试靶

分辨率：2.4 ~ 80 lp/mm

图案：包含48组图案，分24种不同频率，每组含有三条水平线和三条竖直线，有效降低了伪分辨率的发生概率

中心具有长宽同为610 µm的十字线以及直径为250 µm和500 µm的两个同心圆，可用于对准

水平和垂直线集以相同样式、相同频率排列，使测试靶沿从左上到右下的一条对角线对称。如果从左到右或从上到下扫描测试靶，到达中心前线频率一直增大，然后从另一边下降。无论是水平还是垂直扫描，单次通过整个图案将覆盖测试靶上的每个频率。因此只要以单向运动就能确定光学系统的分辨率

尺寸：直径25.4 mm或76.2×76.2 mm

厚度：2 mm

表面光洁度：40/20

线缝公差：±0.5 μm

表面平整度：≤15 μm

NBS 1952分辨率测试靶实物图

三、NBS 1963A分辨率测试靶

NBS 1963A分辨率测试靶靶面

在钠钙玻璃上镀低反射铬膜制作而成，膜层厚度0.12 μm，光密度≥3@430 nm

提供正/负测试靶

分辨率：1 ~ 18 lp/mm

包含26组图案，每组含有五条水平线和五条竖直线，有效降低了伪分辨率的发生概率

尺寸：76.2×25.4 mm

厚度：2 mm

表面光洁度：40/20

线缝公差：±0.5 μm

表面平整度：≤15 μm

NBS 1963A分辨率测试靶实物图

四、可变线栅测试靶

可变线栅测试靶靶面

在钠钙玻璃上镀低反射铬膜制作而成，膜层厚度0.12 μm，光密度≥3@430 nm

提供正/负测试靶

可用于评估系统分辨率、畸变和焦面稳定性

分辨率：1.25 ~ 250 lp/mm

图案：包含18组图案，每组含有四条竖直线，有效降低了伪分辨率的发生概率

尺寸：76.2×25.4 mm

厚度：2 mm

表面光洁度：40/20

线缝公差：±0.5 μm

表面平整度：≤15 μm

可变线栅测试靶实物图

五、西门子星靶

西门子星靶靶面

在钠钙玻璃上镀低反射铬膜制作而成，膜层厚度0.12 μm，光密度≥3@430 nm

提供正/负测试靶

可用于评估系统分辨率、鉴别对焦误差和像散等像差

分辨率：57.5 lp/mm或115 lp/mm

图案：包含36个或72个扇形

每个扇形按已知角度向中间逐渐变细，中心是一个直径为200 um，切断所有扇形条的空白圆，用于调焦

可在任意方向对系统进行评估，无需重新定位测试靶

尺寸：直径25.4 mm

厚度：2 mm

表面光洁度：40/20

线缝公差：±0.5 μm

表面平整度：≤15 μm

西门子星靶实物图

六、组合测试靶

1、同心圆和十字线网格靶

同心圆和十字线网格靶靶面

在钠钙玻璃上镀低反射铬膜制作而成，膜层厚度0.12 μm，光密度≥3@430 nm

提供正/负测试靶

可用于测量系统分辨率、畸变和放大率

图案：包含289组图案，每组由不同尺寸的四个同心圆图案和五个十字线图案组成，每个同心圆图样具有七种不同半径，每个十字线图样具有一个或两个十字

尺寸：76.2×76.2 mm

厚度：2 mm

表面光洁度：40/20

线缝公差：±0.5 μm

表面平整度：≤15 μm

同心圆和十字线网格靶实物图

2、分辨率、畸变组合测试靶

分辨率、畸变组合测试靶靶面

在钠钙玻璃上镀低反射铬膜制作而成，膜层厚度0.12 μm，光密度≥3@430 nm

提供正/负测试靶

可用来测量分辨率、场曲、聚焦误差、像散、图像畸变等

图案：包含一个1951 USAF图案（2到7组）、一个扇形星图案、一个同心圆图案、三个网格图案（100 µm、50 µm和10 µm）以及朗奇刻线图案（30到150 lp/mm）

尺寸：直径25.4 mm

厚度：2 mm

表面光洁度：40/20

线缝公差：±0.5 μm

表面平整度：≤15 μm

分辨率、畸变组合测试靶靶面实物图

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