一、Zernike多项式优点
泽尼克(Zernike)多项式在光学领域中应用广泛。这主要是由于它有以下三个重要属性:
1、 描述圆孔径(光学系统的镜片或者光瞳多是圆的)
2、 和赛德尔像差有天然的对应性(反正都是极坐标描述圆孔径,这种对应性是天然的)
3、 正交性(任意两项系数正交,所以在使用泽尼克系数分解某一个圆孔径上的分布时,方法简便、数值方法稳定)
二、多种Zernike多项式
泽尼克多项式的表达式不是唯一的,广泛流行的至少有2套不同的泽尼克,分别是:
- Fringe Zernike 条纹泽尼克
- Standard Zernike 标准泽尼克
前者Fringe Zernike是亚利桑那大学James Wyant大佬推广使用的,也称为Zernike多项式的Arizona notation。目前在干涉仪等工业测量设备中占绝对主导(比如Zygo干涉仪),默认是它就对了。
后者Standard Zernike是Zemax公司试图推广的,细心观察可以发现和Fringe Zernike在多项式的排列顺序和每个多项式前面的系数是不一样的。Standard Zernike的好处是每一项Zernike的RMS值在单位圆上被归一化了,这样比如1个单位的Z7和1个单位的Z13就有更好的可比性。
总的来说两套主流Zernike多项式是很接近的,可以写个小脚本进行转化。要对比确认两套Zernike系数最易获取且明晰直白的资源我认为是Zemax软件,在波前的Zernike分解的功能下,它支持2种表达式,且很贴心地把各自前37项的具体表达式罗列出来了.
ZEMAX/Analyze/Wavefront/Zernike Fringe Coeffictients
Zernike多项式还有诸多的变种,比如在椭圆上的Zernike,在圆环上的Zernike(对应上图Zemax里的Zernike Annular Coefficients)等。
三、Zernike与Seidel的转化与误区
首先由于都是描述极坐标下的圆,Zernike与Seidel系数天然对应是显然的。
我们经常看到文献中把Z1到Z9用初阶像差的名称命名,如Coma,Astigmatism等,但这是不严格且具有误导性的。
我们来看Z7和Z8,它在Zernike系数中被叫做Coma,但是对应Seidel像差,显然它是Coma和Tilt的耦合。所以我的建议是,Z7、Z8就是Z7、Z8,把它们和Seidel像差下的Coma分分开,不要在名字上带入这种混淆。
四、Zernike多项式的限制
Zernike对于光学中的连续较平坦分布(比如描述波前)在多数场景下非常有效,但它不是万能的。
对于以下这几种场景Zernike的拟合度非常差:
- 高频误差
- 单点金刚石的环状车刀纹
- 带有一个或多个偏心的高峰
对于非圆形孔径而言,Zernike要强行拟合也是可以的,可以在非圆形孔径外套一个外接圆,但这个时候的拟合效率就不是最佳了。如果孔径直接是矩形,那么请了解一下切比雪夫Chebyshev多项式。
另外还要注意的是,Zernike是在单位圆上正交,出了单位圆,它还是可以被有效定义的,但就不正交了。所以,如果在光学软件中使用Zernike面型,要把Normalization Radius设置到和光学孔径一样大(或者略大一丢丢),可不能小了。
在波面检测中,常根据波面相干图及其移动情况分解出波像差的一般表达式
中的各项,这种情况大多采用泽尼克圆多项式(Zernike polynomial)表示波像差。
泽尼克多项式之所以适合用来描述光学系统的波像差,是因为其有如下优点:
1、 泽尼克多项式各项之间是线性无关的,在单位圆上正交,非常适合具有圆形
通光孔径的光学系统。
2、 泽尼克多项式具有旋转对称性,多项式的数学形式不会因为旋转改变。
3、 泽尼克多项式与像差有一定的对应关系,其中各项均具有明确的物理意义,易于分离出各种像差。
4、 各项系数可以通过干涉法直接测得,所以可以很方便的应用。
将波像差按极坐标定义归一化坐标ρ和θ之后使用泽尼克多项式展开,其表
达式为
以下是泽尼克多项式的前9 项及物理意义:
泽尼克多项式前9 项
序号
n
m
相应项
物理意义
ZFR 0
0
0
1
Piston
ZFR 1
1
1
ρcos(θ)
倾斜
ZFR 2
1
-1
ρsin(θ)
ZFR 3
2
0
-1+2ρ2
离焦
ZFR 4
2
2
ρ2cos(2θ)
初级像散
ZFR 5
2
-2
ρ2sin(2θ)
ZFR 6
3
1
(-2ρ+3ρ3)cos(θ)
初级彗差
ZFR 7
3
-1
(-2ρ+3ρ3)sin(θ)
ZFR 8
4
0
1-6ρ2+6ρ4
球差