根据Marechal判据,当光学系统的波前误差(RMS)不超过λ/14 时,系统可以认为是衍射受限的,即其性能接近理想情况下的极限。很多时候大家也这么规定,当系统波像差RMS(AVG WFE RMS)小于0.075λ,可以认为它们的像质接近或达到了衍射极限。我们常说的衍射极限即为光学系统的极限分辨率,当光学系统的像差和衍射现象越小时,系统的分辨率越靠近衍射极限,即越接近极限分辨率。
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