光学不规则度分析_ZYGO_metro_S+A不规则度_PV_RMS

metro是ZYGO干涉仪公司干涉仪的配套软件，当然这是老版本的了，最新版本Mx™ 软件这个估计也只有部分实力的高校、单位和企业有了。

之所以ZYGO干涉仪一直在行业领域领先，是标杆。是因为常规的干涉仪，都是称之为测试设备，而ZYGO多称之为计量设备。

ZYGO软件配备的软件metro分为在线和离线版本，离线就是不需要与干涉仪链接就可以使用的。这也是我们文章最开头大家说的，当然最新版有版权加密，除非购买过新版本干涉仪，一般人估计是不配拥有的，但是老版本的metro则是大家的香饽饽了，毕竟计量系统，绝对权威了。

干涉测试方面的知识可以去学习伍凡老师翻译的《光学车间检验》。

光学车间检测高清版.pdf

链接：https://pan.baidu.com/s/1ZfoXbi2fTA0di9J6zd4qTQ

提取码：SLZH

PV值和RMS就是光学系统中某个面的不规则度数据，实际上ZEMAX这里多采用的是光圈，因为传统球面的测量是利用样板进行牛顿环测量，不仅测曲率还测不规则度，也就是N和ΔN。

       从图片可以看出，这里测得是偏差得两倍，另外是最大偏差，也就是PV得两倍了。那么在公差分析得时候，S+A不规则度的值是metro软件测试PV值的两倍，是RMS值的十倍，当然通过上面的数据，计算二者并不相等，是因为这个倍数关系是经验值，还是需要一些个人的分析判断。

       另外，metro软件还有很多分析功能，例如可以对面形偏差进行ZERNIKE拟合，这对于数学、编程功底较低的也是个福音：

      给出了这个表面的ZERNIKE拟合数据，不同阶数拟合均可选择。另外还可以进行点扩散函数、传递函数、斜率等等的分析。

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