相衬光学显微镜中的相衬板的研制

相衬光学显微镜中的相衬板的研制

摘要

基于Zernike相衬法原理和相衬板设计理论，利用金属材料Ag具有宽角度消偏振的特性，设计了一种低偏振效应的移相膜。采用光刻以及镀膜的方法，研制了可用于相衬显微镜中的新型结构相衬板。通过制介质膜和金属的物理厚度，分别调节相衬板的相位和透过率，提高了相衬度；通过优化光刻及薄膜工艺的工艺参数，得到高质量的圆环结构。最终获得振幅透过率为18.03%，相移量为0.49π的相衬板。

1、引言

随着显微成像技术的不断发展，相衬显微镜在晶体学、细菌和医疗病理学等方面得以广泛应用。置于相衬显微镜物镜后焦面上的相衬板是相衬成像的重要元件，用来改变波前信息的相位频谱，使零级频谱与其他频谱之间产生四分之一波长的相移量，与此同时对零级频谱的强度即振幅作适当衰减，因而相移量不足或透过率过高都将影响最终成像效果。

2、相衬板的设计理论研究

3、移相膜的设计

3.1、材料的选取

3.2、相衬板结构及膜层设计

4、相衬板的制备

4.1、光刻

4.2、薄膜制备

5、测试与分析

5.1、移相膜光谱透过率及牢固度测试

5.2、相位测试

5.3、相衬显微系统测试

6、结论

作者QQ及微信：49922779