国外光学公司业务分析—Zygo

提到Zygo，大家第一时间就想到了干涉仪。的确，Zygo干涉仪目前已经被公认为光学工业和研究室中的标准光学检测仪器。那么，Zygo究竟是一家怎样的企业，它的主营业务是什么，它为什么会如此成功，让我们一起来了解。

01   基本情况

Zygo是一家以设计和制作高精度光学元件、模组与先进光学测量系统为主业的美国企业，始建于1970年，总部位于美国康涅狄格州，当前有500名高技能的员工。使命是通过提供精密的光学和测量方案来促进客户成功。

02   主要发展历史

       1970年公司成立，成立之初的目标是，通过应用创新的抛光方法，成为平面光学元件的顶级制造商。要做就做到最好，做到极致。

       1972年，在市场上推出商用菲索式激光干涉仪，用于测试光学元件表面形貌。当时，光学计量是Zygo光学加工的“附加补充业务”。

       1980年，获得劳伦斯利弗莫尔国家实验室的合同，为NOVA激光项目制造平面光学元件。开始为半导体光刻设备，提供基于差频激光干涉，高精度位移ZMI检测方案。成为光刻机位移控制系统的主要供应商。

       1989年，推出Mark系列菲索激光干涉仪，以及Metropro软件，可以在计算机控制下，进行压电陶瓷机械移相，以及数据采集和分析。

       1990年，推出干涉扫描显微镜，NewView 100,用于测量精密抛光表面粗糙度、纹理及微结构参数。

1997年，与美国国家点火项目合作，为激光聚变项目（罗彻斯特大学高能激光实验室）提供数千块米级平面光学器件。至今，Zygo仍是强激光项目光学器件在世界范围内的首要供应商。相应的有4米抛光机2台，2m的环抛机约10台及许多台小型抛光机。

2009年，推出MST波长调谐干涉仪。

2010年，Metropro软件升级到新的Mx平台，用于所有的干涉计量产品。旗舰产品Nexview白光干涉显微镜推出，拓展了Zygo测量复杂表面形貌的应用范围。同年，超精密光学（EPO）在加利福尼亚Richmond成立，加工制造用于EUV光刻物镜，引力波天文台（LIGO）的超精密光学器件。

2013年，为半导体光刻设备，推出了基于光学外差编码器的新产品线，旨在解决半导体光刻系统中的空气湍流问题。同时推出ZPS干涉式位置传感器，噪声级别为10pm/Hz，可用在同步辐射加速器源的自适应光学系统上，用于实时X射线调节优化。

2015年，在高速增长的消费电子市场上，推出Compass系统，用于量测非球面注塑透镜及模具。

Zygo的发展也遇到过严重的挑战，2000年，在互联网热潮中，股价攀升到令人眩晕的高度，盈利能力和业务增长似乎没有限制，当然最终泡沫破裂了。

2008年金融危机爆发时，Zygo正在投资进军半导体工业，金融危机造成该行业的设备采购急剧下降，被迫缩减了这一计划。（中国的研发专项，贡献了Zygo的1/2的营收，挽救了该公司）。立式上的挫折，让Zygo学到了宝贵的经验教训，成为一个成熟有韧性的公司。

2014年，Zygo加入阿美特克商贸超精密技术部门（AMETEK Ultra Precision Technology），该UPT部门包括世界知名计量公司，如Taylor Hobson，Solartron，Reichert，Creaform以及精密工程制造Precitech，Streling Ultra precision和TMC等。在AMETEK集团中，Zygo与各兄弟公司在技术上进行合作，共享资源。

03   主营业务

（1）    3D光学表面轮廓仪，应用范围从表面形貌和波纹度到样品的粗糙度和微观结构表征，从超光滑亚埃光学表面到极其粗糙和漫反射3D打印表面，包括：

ZeGage Pro、NewView 9000、NewView NX2、都是基于Zygo 的相干扫描干涉仪技术（Coherence ScanningInterferometry ，CSI ）的表面轮廓仪；

Compass系统，用于对微透镜的尺寸、面形做测试；

Nexview 650，用于对大尺寸元件的结构做测试，如PCB板，注塑模具等。

OEM，定制化系统；

SmartSetup系统，可以自动化的对元件做表面轮廓测试，不需要操作员的手工执行；

（2）    激光干涉仪及标准镜：

VerifireTM系列，高性价比的光学车间干涉仪；

DynaFiz动态干涉仪，可以在振动环境下使用；

Verifire HD/HDX，用于中频表征，是分辨率高，仪器传递函数好的干涉仪。

Verifire MST，多表面测试干涉仪，分析厚度、不均匀性等指标。

红外干涉仪，宏宇从近红外到SWIR、MWIR和LWIR的工作波长下测试光学系统和材料；

Verifire XL，12英寸向下看式工作站，用于窗口、平面反射镜的测试；

大孔径系统，12英寸、18英寸、24英寸和32英寸干涉仪。

向上看或向下看的立式工作站；

干涉仪配件，标准镜头，CGH等。

（3）    干涉仪Mx软件，用来与三维轮廓仪、激光干涉仪、自动测量等配合使用的一款多用途软件。

（4）    纳米定位传感器，包括：

ZMI位移测量干涉仪；

绝对位置传感器；

（5）    光学元件，主要产品如下：

a平面窗口、反射镜；

b球面透镜，加工范围50-700mm；

c非球面和自由曲面，最大可以做到600mm，RMS优于0.1nm。

      i.     许多几何形状，包括轴上和离轴非球面、自由曲面（非旋转对称）、球面、轴棱锥、相息图和其他衍射表面

      ii.          材料范围很广，包括：低膨胀陶瓷：Zerodur、Clearceram、ULE 等。硬质材料：碳化硅（SiC）、氮氧化铝、尖晶石。软性材料：氟化钙（CaF2）、氟化镁（MgF2）。标准玻璃：BK7、SF-11。其他晶体材料：锗（Ge）、硅（Si）。金属：铝（Al）、镍（Ni）

      d. 分光棱镜；

      e. 长直边镜；

      f.  镜坯轻量化、镀膜服务。

（6）    光学模组，主要产品如下：

折射、反射及折返式望远镜，用于无人机或其它机载镜头、激光通信望远镜；

显微镜物镜和成像系统，生物荧光显微镜、牙科成像。

激光束传输系统；用于材料加工、激光手术，激光照明、整形匀化等。

复杂系统，包括由光纤、显示器、光栅/衍射元件等元件组成的系统，用于头盔显示，无光罩光刻照明器和投影系统，定制测试设备等。

04   总结

       与Zeiss或Nikon相比，Zygo的业务相对单一，是一家规模不大，做的非常精的公司，主要产品是三维轮廓仪、激光干涉仪、精密光学元件及模组。经过50年的发展，Zygo已经成长为国际著名的光学企业，其生产的仪器也做为光学测量的标准设备在使用。或许就像其宣传的，Zygo的竞争力和成功源自与深入公司基因里的价值观，即对高精度的激情，对质量的痴迷，客户关系中的诚信，以及对所做的一切事情的自豪感。

作者QQ及微信：49922779