显微物镜NA图像式测量原理,测量光发出的光经过准直镜组扩束形成一束平行光,该平行光经分光棱镜反射后进入待测物镜,再经浸液会聚于盖玻片下表面。基于光学全反射原理,入射角大于全反射临界角的光线将在盖玻片与空气界面发生全反射,入射角小于全反射临界角的光线将发生反射和透射。在盖玻片下表面反射的光线再次经待测物镜后形成一束圆环状平行光束,最后经分光棱镜到达图像传感器。图像传感器接收到的图像为一个中心区域亮度低、边缘区域亮度高的圆环状图像,该图像的内圆直径为全反射圆直径,外圆直径为数值孔径圆直径。NA=D外/D内
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