一、色差标准(ISO 19012-2:2013)
相干波长:546.07nm(e-line)
蓝光波长:479.99nm(F’-line)
红光波长:643.85nm(C’-line)
焦点:每一个波长的最佳焦点。
焦点位置差:不同波长焦点轴向位置差。
场深的基本标准:δob=nλ/ (2NA2)
消色差物镜(Achromat):红光和蓝光焦点位置差的绝对值≤2×δob
半复消色差物镜(Semiapochromat):红光和蓝光相对于参考光的焦点位置差的绝对值≤2.5×δob
复消色差物镜(Apochromat):红光和蓝光相对于参考光的焦点位置差的绝对值≤δob
物镜按消色差情况分类:
消色差(ACH,ACHRO,ACHROMAT)
半复消色差(SEMIAPO,FL,FLU)
复消色差(APO)
Dry
Immersion
n
1
n
1.518
λ(um)
0.546
λ(um)
0.546
NA
δob(um)
NA
δob(um)
0.04
170.625
0.4
2.59
0.07
55.714
0.7
0.846
0.1
27.3
0.9
0.512
0.13
16.154
1
0.414
0.15
12.133
1.25
0.265
0.16
10.664
1.3
0.245
0.2
6.825
1.35
0.227
0.22
5.64
1.4
0.211
0.25
4.368
1.42
0.206
0.3
3.033
1.45
0.197
0.35
2.229
1.5
0.184
0.4
1.706
1.55
0.172
0.45
1.348
1.6
0.162
0.5
1.092
1.62
0.158
0.55
0.902
0.6
0.758
0.65
0.646
0.7
0.557
0.75
0.485
0.8
0.427
0.85
0.378
0.9
0.337
0.95
0.302
二、NA0.4色差校正举例:
波长种类
n
λ
NA
δob(um)
479.99nm(F’-line)
1
0.47999
0.4
1.500
546.07nm(e-line)
1
0.54607
0.4
1.706
643.85nm(C’-line)
1
0.64385
0.4
2.012
消色差情况 | 标识 | 标准 | 标准(NA0.4)(um) | 备注 |
achromat | ACH | (红-蓝)<2δob | 3.413 | δob指546.07nm(e-line)对应的景深 |
semiapochromat | FL | (红-绿)<2.5δob | 4.266 | |
(蓝-绿)<2.5δob | ||||
apochromat | APO | (红-绿)<δob | 1.706 | |
(蓝-绿)<δob |