一、色差标准(ISO 19012-2:2013)
相干波长:546.07nm(e-line)
蓝光波长:479.99nm(F’-line)
红光波长:643.85nm(C’-line)
焦点:每一个波长的最佳焦点。
焦点位置差:不同波长焦点轴向位置差。
场深的基本标准:δob=nλ/ (2NA2)
消色差物镜(Achromat):红光和蓝光焦点位置差的绝对值≤2×δob
半复消色差物镜(Semiapochromat):红光和蓝光相对于参考光的焦点位置差的绝对值≤2.5×δob
复消色差物镜(Apochromat):红光和蓝光相对于参考光的焦点位置差的绝对值≤δob
物镜按消色差情况分类:
消色差(ACH,ACHRO,ACHROMAT)
半复消色差(SEMIAPO,FL,FLU)
复消色差(APO)
Dry | Immersion | ||
n | 1 | n | 1.518 |
λ(um) | 0.546 | λ(um) | 0.546 |
NA | δob(um) | NA | δob(um) |
0.04 | 170.625 | 0.4 | 2.59 |
0.07 | 55.714 | 0.7 | 0.846 |
0.1 | 27.3 | 0.9 | 0.512 |
0.13 | 16.154 | 1 | 0.414 |
0.15 | 12.133 | 1.25 | 0.265 |
0.16 | 10.664 | 1.3 | 0.245 |
0.2 | 6.825 | 1.35 | 0.227 |
0.22 | 5.64 | 1.4 | 0.211 |
0.25 | 4.368 | 1.42 | 0.206 |
0.3 | 3.033 | 1.45 | 0.197 |
0.35 | 2.229 | 1.5 | 0.184 |
0.4 | 1.706 | 1.55 | 0.172 |
0.45 | 1.348 | 1.6 | 0.162 |
0.5 | 1.092 | 1.62 | 0.158 |
0.55 | 0.902 | ||
0.6 | 0.758 | ||
0.65 | 0.646 | ||
0.7 | 0.557 | ||
0.75 | 0.485 | ||
0.8 | 0.427 | ||
0.85 | 0.378 | ||
0.9 | 0.337 | ||
0.95 | 0.302 |
二、NA0.4色差校正举例:
波长种类 | n | λ | NA | δob(um) |
479.99nm(F’-line) | 1 | 0.47999 | 0.4 | 1.500 |
546.07nm(e-line) | 1 | 0.54607 | 0.4 | 1.706 |
643.85nm(C’-line) | 1 | 0.64385 | 0.4 | 2.012 |
消色差情况 | 标识 | 标准 | 标准(NA0.4)(um) | 备注 |
achromat | ACH | (红-蓝)<2δob | 3.413 | δob指546.07nm(e-line)对应的景深 |
semiapochromat | FL | (红-绿)<2.5δob | 4.266 | |
(蓝-绿)<2.5δob | ||||
apochromat | APO | (红-绿)<δob | 1.706 | |
(蓝-绿)<δob |